УДК: 621.315.592

Реферат:

Проведен анализ методов формирования межкомпонентной изоляции ИМС. Рассмотрены особенности и проблемы процесса формирования межкомпонентной изоляции с использованием мелких канавок, заполненных диэлектриком. Определены условия заполнения канавок, обеспечивающие исключение растрескиваний и растравов диэлектрических пленок, а также режимы термического окисления, обеспечивающие округление верхней кромки канавок. Разработан процесс формирования межкомпонентной изоляции с использованием мелких канавок, заполненных диэлектриком, обеспечивающий снижение высоты рельефа структуры до менее 0,1 мкм и уменьшение ширины межкомпонентной изоляции до 0,5 мкм.